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无尘室洁净标准

浏览人数:1543  发布时间: 2013-07-24 0:00:00
无尘室洁净标准
 

        依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
 
        现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。
其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。

在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级
        一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2•••8,8阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。

        21世界,最尖端产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化,尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。

美国联邦标准(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3
洁净度级别                              粒 径 (um)
                         0.1       0.2      0.3        0.5         5.0
1                        35        7.5      3          1           NA
10                       350       75        30        10          NA
100                      NA        750      300        100         NA
1000                     NA        NA        NA        1000        7
10000                    NA        NA        NA        10000       70
100000                   NA        NA        NA        100000      700

中国药品生产无尘车间(区)的空气洁净度标准
洁净度级别      尘埃最允许数 /平方米                  微生物最大允许数
                  ≥0.5um        5um           浮游菌个/立方米     沉降菌个/皿.30min

100                 3500         0                    5                         1
10000               350000      2000                  100                       3
100000              3500000     20000                  500                      10
300000              10500000    61800                  NA                       15

无尘车间及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级GB50073-2001
空气洁净度                   大于或等于表中粒径的最大浓度限值 (pc/m3)
等级 (N)               0.1μm        0.2μm        0.3μm       0.5μm        1μm       5μm
1                        10          2                                    
2                        100         24           10          4                 
3                        1000        237          102         35              8        
4                        10000       2370         1020        352            83        
5                        100000      23700        10200       3520          832     29
6                       1000000      237000       102000      35200        8320     293
7                                                                                   352000     83200    2930
8                                                                                   3520000    832000   29300
9                                                                                   35200000   8320000  293000

        所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

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